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Atomic resolution top-down nanofabrication with low-current focused-ion-beam thinning
  • ISSN号:0167-9317
  • 期刊名称:Microelectronic Engineering
  • 时间:0
  • 页码:301-304
  • 相关项目:低维纳电子材料的新奇物性及器件应用研究
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