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Study on the energy structure of amorphous antireflection Er(2)O(3) films on Si(001) substrates
  • 期刊名称:OPTOELECTRONIC MATERIALS
  • 时间:0
  • 页码:612-615
  • 语言:英文
  • 相关项目:非晶稀土氧化物高k栅介质材料的制备及物理特性研究
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