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ECR-CVD方法生长a-SiNx:H薄膜的
  • 期刊名称：功能材料与器件学报 12（2006）259-263
  • 时间：0
  • 相关项目：多线圈大面积感应耦合等离子体的耦合特性和均匀性研究
作者： 鲁涛 辛煜 吴雪梅
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多线圈大面积感应耦合等离子体的耦合特性和均匀性研究
期刊论文 26
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