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Excimer laser electrochemical etching n-Si in the KOH solution
  • ISSN号：0143-8166
  • 期刊名称：Optics and Lasers In Engineering
  • 时间：0
  • 页码：570-574
  • 相关项目：基于激光冲击波力学效应的微驱动技术与系统研究
作者： Long, Yuhong|Shi, Tielin|Xiong, Liangcai|
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