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版图结构对MOS器件总剂量辐照特性的影响
  • ISSN号:1674-4926
  • 期刊名称:《半导体学报:英文版》
  • 时间:0
  • 分类:TN386.1[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构:[1]清华大学电子工程系,北京100084, [2]清华大学微电子学研究所,北京100084
  • 相关基金:国家自然科学基金资助项目(批准号:60372021)
中文摘要:

在商用标准0.6μm体硅CMOS工艺下,设计了采用普通单栅及多栅版图结构的nMOS和pMOS晶体管作为测试样品,讨论其经过γ射线照射后的总剂量辐照特性,辐照中器件采用不同电压偏置,并在辐照前后对器件箩源漏极问泄漏电流、阈值电压漂移及跨导特性进行测量,研究表明nMOS总剂量效应对器件的版图结构非常敏感,而pMOS的总剂量效应几乎不受版图结构的影响。

英文摘要:

Both nMOS and pMOS transistors with two-edged and multi-finger layouts are fabricated in a standard commercial 0.6μm CMOS/bulk process to study their total ionizing dose (TID) radiation effects. The leakage current, threshold voltage shift, and transconductance of the devices are monitored before and after T-ray irradiation. Different device bias conditions are used during irradiation. The experiment results show that TID radiation effects on nMOS devices are very sensitive to their layout structures. The impact of the layout on TID effects on pMOS devices is slight and can be neglected.

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期刊信息
  • 《半导体学报:英文版》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国电子学会 中国科学院半导体研究所
  • 主编:李树深
  • 地址:北京912信箱
  • 邮编:100083
  • 邮箱:cjs@semi.ac.cn
  • 电话:010-82304277
  • 国际标准刊号:ISSN:1674-4926
  • 国内统一刊号:ISSN:11-5781/TN
  • 邮发代号:2-184
  • 获奖情况:
  • 90年获中科院优秀期刊二等奖,92年获国家科委、中共中央宣传部和国家新闻出版署...,97年国家科委、中共中央中宣传部和国家新出版署三等奖,中国期刊方阵“双效”期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:7754