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正交偏振激光角度测量技术综述
  • ISSN号:1002-1582
  • 期刊名称:《光学技术》
  • 时间:0
  • 分类:O43[机械工程—光学工程;理学—光学;理学—物理] TN247[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构:[1]清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室,北京100084
  • 相关基金:基金项目:国家自然科学基金(30870662)资助项目;北京市自然科学基金(09C0098)资助课题
中文摘要:

机械导轨运动副滚转角的高精度测量一直是一个难题。研究了很多光学方法,但由于其角位移方向正好垂直于探测光束,所以仍没有得到很好的解决。利用激光偏振面对旋转的敏感性,通过测量由此引起的正交偏振激光光强、相位或频差的变化,可有效地解决滚转角的测量问题。介绍了目前国内外基于正交偏振激光的滚转角测量技术,根据其测量原理分为光强差测量、相位差测量和频率差测量三类。对每种测量方法的原理和发展现状进行了评述,比较了各种方法的优缺点,讨论了其发展趋势。

英文摘要:

The high precision measurement of the rolling angle of the moving mechanism guide is very difficult to be carried out because its angular displacement is perpendicular to the incident probe beam.Due to the sensitivity of laser polarization to the rolling displacement,variations of intensity,phase and beat frequency of the orthogonally polarized lasers can be measured to effectively solve the rolling angle measuring problem.Several rolling angle measuring methods are introduced and classified into three groups:based on intensity difference,phase difference,frequency difference measurements.The principle and the status of development of each method are described.The advantages and disadvantages are compared.The developing trend of these methods are discussed.

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期刊信息
  • 《光学技术》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:国防科工委
  • 主办单位:中国兵工学会 北京理工大学 中国北方光电工业总公司
  • 主编:夏阳
  • 地址:北京海淀中关村南大街5号
  • 邮编:100081
  • 邮箱:gxjs@bit.edu.cn
  • 电话:010-68913628 68948720
  • 国际标准刊号:ISSN:1002-1582
  • 国内统一刊号:ISSN:11-1879/O4
  • 邮发代号:2-830
  • 获奖情况:
  • 中国兵器工业总公司优秀期刊一等奖,首届国防科工委优秀期刊二等奖,美国工程索引(EI)对本刊论文的收录率为87%
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版)
  • 被引量:12855