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Experimental investigation on the growth rate of Cu<br />nano-thin films by DC and RF magnetro
  • 期刊名称：Int. J. Materials and Structural Integrity
  • 时间：2014.4.10
  • 页码：303-309
  • 相关项目：高速电路复杂互连的信号完整性故障模型及测试方法研究
作者： Liqiang Zhang|Chaoyan Xu|Yunqing Tang|
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