位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
室温微测辐射热计线性阵列的设计与制作
  • ISSN号：0254-3087
  • 期刊名称：《仪器仪表学报》
  • 时间：0
  • 分类：TP2[自动化与计算机技术—控制科学与工程;自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
  • 相关基金：国家自然科学基金(No.59995550-1)和清华大学985基金资助项目.
作者： 董良, 岳瑞峰, 刘理天
关键词： 多晶锗硅, 微测辐射热计, 微, 桥
中文摘要：

对微测辐射热计的微桥结构进行了优化设计.采用多晶锗硅Poly-Si0.7Ge0.3薄膜电阻作为微测辐射热计的探测敏感元件,结合微机械加工技术制作了8×1微测辐射热计线性阵列,制作工艺温度小于650℃,微桥桥面面积为100μm×100μm,由两臂支撑,支撑臂的长L和宽W分别为220μm和8μm.

同期刊论文项目
航天技术和信息器件中的微细尺度传热
期刊论文 24
同项目期刊论文
Scaling effect of breakthrough character in porous media
微桥量热计测量铝薄膜热容
气体传感器阵列信号的盲分离研究
一种测量Si/SiO2界面残余应力的微结构应变计
用于室温红外探测器热敏材料的PECVD掺硼a-Si薄膜的研究
求解非线性Poisson方程的格子演化算法
温度梯度对Taylor稳定性影响及其应用
温度依变性对纳米颗粒悬浮液导热系数测量影响
气流在单壁面等温平行平板微槽道内完全发展层流换热
开槽结构多孔芯体强化沸腾传热优化分析
滑移流区平行平板微通道内单侧加热流动与换热
不同热流下平行平板微槽内流体滑移流动与层流换热
微热板阵列的热测试和热分析
矩形槽道微小型平板热管传热性能的理论分析
不可压缩合成喷流场的数值模拟
脉动热管运行的可视化实验研究
液相饱和度对多孔介质稳态导热系数的影响
TFT的热电特性及其在室温IRFPA中的应用
气压和流速对微热板气体传感器的影响
基于非晶硅薄膜晶体管的室温红外探测器
多晶锗硅(Poly-Si0.7Ge0.3)薄膜的制备
基于交流量热法的薄膜热扩散率自动测试系统的研究
A Genetic Algorithm for Simultaneous Determination of Thin Films Thermal Transport Properties and Contact Resistance
期刊信息
  • 《仪器仪表学报》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学技术协会
  • 主办单位:中国仪器仪表学会
  • 主编：张钟华
  • 地址：北京东城区北河沿大街79号
  • 邮编：100009
  • 邮箱：yqyb@vip.163.com
  • 电话：010-84050563
  • 国际标准刊号：ISSN：0254-3087
  • 国内统一刊号：ISSN：11-2179/TH
  • 邮发代号:2-369
  • 获奖情况:
  • 1983年评为机械部科技进步三等奖,1997年评为中国科协优秀科技期刊三等奖
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:42481