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Analysis and fabrication of a novel MEMS pendulum angular accelerometer with electrostatic actuator
  • ISSN号：0946-7076
  • 期刊名称：Microsystem Technologies
  • 时间：0
  • 页码：9-16
  • 相关项目：调谐输出式硅MEMS陀螺确定性误差机理、建模及标定补偿方法研究
作者： Jianli LI|Jiancheng Fang|Min Du|Haifeng Dong|
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