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基于USB2.0与CPLD的光刻机底面对
  • 期刊名称：微纳电子技术，2007年12期p1082-1086
  • 时间：0
  • 相关项目：纳米光栅掩模提高分辨力的原理和方法研究
作者： 邓玖根，张正荣
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