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用分子束外延技术在GaAs(110)衬底上生长AlGaAs材料
  • ISSN号:1674-4926
  • 期刊名称:《半导体学报:英文版》
  • 时间:0
  • 分类:TN304[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构:[1]兰州大学物理科学与技术学院,兰州730000, [2]中国科学院物理研究所凝聚态国家实验室,北京100080, [3]东南大学MEMS教育部重点实验室,南京210096
  • 相关基金:中国科学院知识创新工程,国家自然科学基金(批准号:10504030)和甘肃省自然科学基金(批准号:3ZS051-A25-034)资助项目
中文摘要:

采用分子束外延技术在GaAs(110)衬底上制备了一系列生长温度和As2/Ga束流等效压强比不同的样品,通过室温光致发光谱、高分辨X射线衍射仪和低温光致发光谱对这些样品进行了分析,找到了在GaAs(110)衬底上生长高质量高Al组分的Al0.4Ga0.6As生长条件.

英文摘要:

A series of samples with different growth temperatures and different BEP ratios were grown on GaAs (110) substrates by molecular beam epitaxy. The samples were investigated via room temperature and low temperature photoluminescence spectra and high resolution X-ray diffraction. Then the optimized growth conditions of A104 Ga0.6 As films on GaAs (110) substrates were found.

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期刊信息
  • 《半导体学报:英文版》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国电子学会 中国科学院半导体研究所
  • 主编:李树深
  • 地址:北京912信箱
  • 邮编:100083
  • 邮箱:cjs@semi.ac.cn
  • 电话:010-82304277
  • 国际标准刊号:ISSN:1674-4926
  • 国内统一刊号:ISSN:11-5781/TN
  • 邮发代号:2-184
  • 获奖情况:
  • 90年获中科院优秀期刊二等奖,92年获国家科委、中共中央宣传部和国家新闻出版署...,97年国家科委、中共中央中宣传部和国家新出版署三等奖,中国期刊方阵“双效”期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:7754