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The multi-motion-overlap algorithms for minimizing the time between successive scans of wafer stage
  • ISSN号：1671-4512
  • 期刊名称：《华中科技大学学报：自然科学版》
  • 时间：0
  • 分类：TP391.41[自动化与计算机技术—计算机应用技术;自动化与计算机技术—计算机科学与技术]
  • 作者机构：[1]College of Mechanical Engineering, Guangxi University, Nanning 530004, P.R. China, [2]College of Mechanical Science ＆ Engineering, Huazhong University of Science ＆ Technology, Wuhan 430074, P. R. China
  • 相关基金：Supported by the National Basic Research Program of China （No. 2003CB716206） and the National Natural Science Foundation of China （No.50605025）
作者： 潘海鸿[1], Chen Lin[1], Li Xiaoqing[2], Zhou Yunfei[2]
关键词： 图象处理, 多动作重叠算法, 极小化时间, 胶片, 扫描平版印刷术, multi-motion-overlap algorithm, minimizing time, successive exposure scans, wafer stage, step-and-scan lithography
中文摘要：

PAN Haihong, bom in 1966. He received his Ph. D degrees in School of Mechanical Science ＆ Engineering, Huazhong University of Science ＆ Technology in 2007. He is an associate professor in College of Mechanical Engineering, Guangxi University. His current research interests include computer numerical control system, high-speed and high-precision motion control, and realtime embedded microcontroller application in semiconductor manufacturing equipment.To whom co rrespondence should be addressed. E-mail： hustphh@163.com

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期刊信息
  • 《华中科技大学学报：自然科学版》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中华人民共和国教育部
  • 主办单位:华中科技大学
  • 主编：丁烈云
  • 地址：武汉珞喻路1037号
  • 邮编：430074
  • 邮箱：hgxbs@mail.hust.edu.cn
  • 电话：027-87543916 87544294
  • 国际标准刊号：ISSN：1671-4512
  • 国内统一刊号：ISSN：42-1658/N
  • 邮发代号:38-9
  • 获奖情况:
  • 全国优秀科技期刊,首届国家期刊奖,第二届全国优秀科技期刊评比一等奖,中国期刊方阵“双效”期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘（网络版）,美国数学评论（网络版）,德国数学文摘,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）
  • 被引量:21013