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离子束增强沉积掺杂氧化钒薄膜的最佳退火条件
  • ISSN号：1001-9014
  • 期刊名称：《红外与毫米波学报》
  • 分类：TB43[一般工业技术] TN213[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构：[1]江苏工业学院信息科学系,江苏常州213016
  • 相关基金：国家自然科学基金资助项目（60277019）;江苏省自然科学基金资助项目（BK2005023）.
作者： 谢建生[1], 李金华[1], 袁宁一[1]
关键词： 氧化钒薄膜, 退火, 离子束增强沉积
中文摘要：

用离子束增强沉积方法制备掺杂Ar和W的VO2多晶薄膜，明显改变了VO2薄膜的相变温度。试验发现，薄膜存在一个形成VO2结构的临界结晶温度，该温度随薄膜制备时沉积条件的不同而改变。选择适当的杂质和退火条件可以将VO2薄膜的相变温度降低到室温附近，获得较高室温电阻一温度系数的薄膜。

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期刊信息
  • 《红外与毫米波学报》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国科学院上海技术物理研究所 中国光学学会
  • 主编：褚君浩
  • 地址：上海市玉田路500号
  • 邮编：200083
  • 邮箱：jimw@mail.sitp.ac.cn
  • 电话：021-25051553
  • 国际标准刊号：ISSN：1001-9014
  • 国内统一刊号：ISSN：31-1577/TN
  • 邮发代号:4-335
  • 获奖情况:
  • 1992、1996年获全国优秀学术期刊一等奖,1999年首届国家期刊奖
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,美国科学引文索引（扩展库）,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,瑞典开放获取期刊指南,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:8778