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Photothermal microactuators fabricated by LIGA technology
  • ISSN号:1013-9826
  • 期刊名称:Key Engineering Materials
  • 时间:2013.5.29
  • 页码:534-537
  • 相关项目:基于同步辐射LIGA技术的微纳驱动器件制备及其驱动新方法研究
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