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注入能量对硅片的表面性能影响的
  • 期刊名称：中国矿业大学学报, 35(6): 713-717, 2006.
  • 时间：0
  • 相关项目：离子注入MEMS硅器件表面的微摩擦学性能研究
作者： 张德坤，葛世荣，王庆良，刘金龙
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