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CIF格式挖空多边形切割为PG3600格式矩形的算法
  • ISSN号：1003-8213
  • 期刊名称：《微细加工技术》
  • 时间：0
  • 分类：TN305.7[电子电信—物理电子学] TP301.6[自动化与计算机技术—计算机系统结构;自动化与计算机技术—计算机科学与技术]
  • 作者机构：[1]中国科学院微电子研究所,纳米加工与新器件集成实验室,北京,100029 中国科学院微电子研究所,纳米加工与新器件集成实验室,北京,100029 中国科学院微电子研究所,纳米加工与新器件集成实验室,北京,100029 中国科学院微电子研究所,纳米加工与新器件集成实验室,北京,100029
  • 相关基金：国家重点基础研究项目资助(G2000036504;2002CB311907;2002AA325040);国家自然科学基金资助项目(60290081;60276019;90207004;60376020;60236010)
作者： 李金儒[1], 陈宝钦[1], 汤跃科[1], 薛丽君[1]
关键词： 微光刻图形, 数据格式转换, 挖空多边形, 图形切割
中文摘要：

给出了一种微光刻图形CIF格式的中间挖空多边形切割成PG3600格式所需矩形的新算法.首先,用水平扫描线把有内环的多边形切割成三角形或梯形;然后,把三角形或梯形切割成矩形和直角三角形;最后,把直角三角形用矩形包围或将其直接切割成矩形.本算法的优越性在于不需要先把挖空多边形切割成凸多边形后再进行切割,而是直接进行,对于三角形则采用了矩形包围拼接的方法,大大减少了切割出的矩形数据量.另外,本算法同样适用于没有内环的凸凹多边形的切割.

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期刊信息
  • 《微细加工技术》
  • 主管单位:信息产业部
  • 主办单位:中国电子科技集团公司第48研究所
  • 主编：伍三忠
  • 地址：长沙市第96号信箱301分箱（长沙黑石铺）
  • 邮编：410111
  • 邮箱：
  • 电话：0731-2891478
  • 国际标准刊号：ISSN：1003-8213
  • 国内统一刊号：ISSN：43-1140/TN
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 中文核心期刊,国家一级检索刊物用刊
  • 国内外数据库收录:
  • 荷兰文摘与引文数据库
  • 被引量:1695