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表面损伤层对Hg1-xMnxTe晶片电学参数的影响
  • ISSN号:1002-185X
  • 期刊名称:《稀有金属材料与工程》
  • 时间:0
  • 分类:TN304.7[电子电信—物理电子学] TN307[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构:[1]西北工业大学材料学院,陕西西安710016
  • 相关基金:国家自然科学基金资助项目(50336040)
中文摘要:

采用范德堡法在77K下对多个Hg1-xMnxTe晶片化学抛光前后的电学性能进行了Hall测量。结果发现:与化学抛光后所测值相比,抛光前所测得的电阻率和霍尔系数值相对较小,而霍尔迁移率和载流子浓度相对较大,其中电阻率和霍尔迁移率在化学抛光前后变化幅度分别高达25%和31%,而霍尔系数和载流子浓度的变化幅度只有2%左右。化学抛光前,晶片表面损伤层内存在大量位错,对载流子的迁移造成散射,使得损伤层中的霍尔迁移率降低,但化学抛光前所测得的霍尔迁移率反而比抛光后的大,增幅最小的也达到了21%。本研究在3层模型的基础上,通过理论分析和计算,对这一反常现象以及化学抛光前后其它电学参数的变化进行了解释。

英文摘要:

Electronic properties of several Hg1-xMnxTe wafers before and after chemical polish were characterized by Van Der Pauw method at 77 K. Results showed that values of resistivity and Hall coefficient of the wafers before etching are lower than those after etching, while Hall mobility and carrier density were higher. The maximum of resistivity decreased by 25%, the maximum of Hall mobility increased by 31%, but Hall coefficient and carrier density changed only by about 2% before and after etching. There existed a lot of dislocations in surface damaged layer, resulting in the decrease of Hall mobility of charge carrier, but the values of Hall mobility of wafers before chemical polish were higher, the minimum of which increased by 21%. It is a abnormal phenomena. All the experimental results can be explained using a three-layer model.

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期刊信息
  • 《稀有金属材料与工程》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学技术协会
  • 主办单位:中国有色金属学会 中国材料研究学会 西北有色金属研究院
  • 主编:张平祥
  • 地址:西安市51号信箱
  • 邮编:710016
  • 邮箱:RMME@c-nin.com
  • 电话:029-86231117
  • 国际标准刊号:ISSN:1002-185X
  • 国内统一刊号:ISSN:61-1154/TG
  • 邮发代号:52-172
  • 获奖情况:
  • 首届国家期刊奖,中国优秀期刊一等奖,中国有色金属工业优秀期刊1等奖
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国科学引文索引(扩展库),英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:24715