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A compact CCD-monitored atomic force microscope with optical vision and improved performances
  • ISSN号:1059-910X
  • 期刊名称:MICROSCOPY RESEARCH AND TECHNIQUE
  • 时间:2013.9
  • 页码:931-935
  • 相关项目:基于同步辐射LIGA技术的微纳驱动器件制备及其驱动新方法研究
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