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退火过程中Rp缺陷模型的研究及数
  • 期刊名称：半导体学报,2005(６)
  • 时间：0
  • 相关项目：杂质原子和注入缺陷的相互作用机理研究
作者： 励晔,夏建新,安娜
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杂质原子和注入缺陷的相互作用机理研究
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