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飞秒激光诱导金属银纳米布线加工精度的研究
  • ISSN号:0258-7025
  • 期刊名称:《中国激光》
  • 分类:TN249[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构:吉林大学电子科学与工程学院,吉林长春130012
  • 相关基金:基金项目:国家自然科学基金(61522503,61376123)
中文摘要:

对利用飞秒激光诱导银纳米布线的精度进行研究,并将其应用到银微纳器件的加工制作领域。对飞秒激光与银离子前驱体溶液的相互作用进行了实验,通过对飞秒激光功率、曝光时间、银离子前驱体中表面活性剂种类以及浓度的调控,利用扫描电子显微镜对布线结构进行表征,得到 140 纳米宽的银纳米线。利用飞秒激光制备出一组银微纳图案和微型催化反应器。该研究为银微纳结构图案制备以及复杂衬底上金属功能器件集成提供了新的技术。

英文摘要:

We carried out a research on the precision of femtosecond laser induced silver nanowiring and its application in micro-device integration. The precision of the silver nanowires could be controlled by the laser power, exposure duration, surfactant type and their concentrations in the precursor solution. An experiment of interaction between femtosecond laser and Ag precursor solution was conducted. Experimental results show that silver nanowires with high precision (140 nm) could be prepared, which was confirmed by means of scanning electron microscope. Meanwhile, a micro-pattern of silver nanowires and a micro-catalytic-reactor were produced by femtosecond laser direct writing technique. The research may open up a new way to the designable patterning of silver mierostruetures toward flexible fabrication and integration of silver functional devices.

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期刊信息
  • 《中国激光》
  • 北大核心期刊(2011版)
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国光学学会 中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 主编:周炳琨
  • 地址:上海市嘉定区清河路390号
  • 邮编:201800
  • 邮箱:cjl@siom.ac.cn
  • 电话:021-69917051
  • 国际标准刊号:ISSN:0258-7025
  • 国内统一刊号:ISSN:31-1339/TN
  • 邮发代号:4-201
  • 获奖情况:
  • 中国自然科学核心期刊,物理学类核心期刊,无线电子学·电信技术类核心期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:26849