位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
微球体尺度对硅片表面改性效果的
  • 期刊名称：微细加工技术（已录用）
  • 时间：0
  • 相关项目：离子注入MEMS硅器件表面的微摩擦学性能研究
同期刊论文项目
离子注入MEMS硅器件表面的微摩擦学性能研究
期刊论文 15 会议论文 6 著作 1
同项目期刊论文
氮离子注入硅表面的力学性能及微
碳离子注入能量对硅表面摩擦性能
碳离子注入前后硅片的微动磨损行
注入能量对硅片的表面性能影响的
碳离子注入对硅片的微摩擦学行为
单晶硅在氮离子注入前后的力学性
Research on Nano-Mechanical an
单晶硅在碳离子注入前后的摩擦性
氮离子注入硅表面的力学性能及其微摩擦磨损行为研究
磷酸锌对环氧涂层破损处金属的缓蚀作用
PVA／HA复合水凝胶的结构和摩擦学性能
碳离子注入对硅片微摩擦学行为的影响
碳离子注入前后单晶硅的摩擦性能对比
聚乙烯醇／纳米羟基磷灰石复合水凝胶的接触变形与启动摩擦特性研究