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一种用于制备大厚度MEMS结构层的浓硼掺杂方法
  • ISSN号：1672-6030
  • 期刊名称：纳米技术与精密工程
  • 时间：2013
  • 页码：32-38
  • 相关项目：近场电纺纳米纤维物理性能的诱变机制与行为规律
作者： 孙道恒|张豪尔|占瞻|何杰|杜晓辉|王凌云|
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期刊信息
  • 《纳米技术与精密工程》
  • 北大核心期刊（2014版）
  • 主管单位:教育部
  • 主办单位:天津大学
  • 主编：胡小唐
  • 地址：天津市南开区卫津路92号
  • 邮编：300072
  • 邮箱：namijishu@tju.edu.cn
  • 电话：022-27892181
  • 国际标准刊号：ISSN：1672-6030
  • 国内统一刊号：ISSN：12-1351/O3
  • 邮发代号:6-177
  • 获奖情况:
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2014版）
  • 被引量:1849