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一种用有限元工具仿真水平轴微陀螺解耦性能的方法
  • 期刊名称:传感技术学报,2008年 第21卷 第2期,pp. 255-257
  • 时间:0
  • 分类:O318[理学—一般力学与力学基础;理学—力学] V241.5[航空宇航科学与技术—飞行器设计;航空宇航科学技术]
  • 作者机构:[1]北京大学微电子系,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,北京100871
  • 相关基金:国家自然科学基金资助“微米/纳米加工技术国家级重点实验室”(50575001)
  • 相关项目:体硅微机械惯性传感器与CMOS电路单芯片集成技术研究
中文摘要:

提出了一种用有限元工具ANSYSTM的谐响应分析功能仿真陀螺在模态频率下位移的方法。利用这种方法,仿真得到了陀螺模态间的机械耦合,并通过测试对仿真结果进行了验证。这种方法还能仿真由于工艺误差造成的结构不对称性对陀螺性能的影响,并证明了双解耦性能有利于抑制这种不对称带来的误差。

英文摘要:

A new method of using the harmonic analysis of ANSYSTM, a kind of finite element tool, is proposed. It can simulate the displacements of gyroscope under the work mode frequencies. Using this method, the mechanical coupling properties between the work modes are simulated, which are also verified by test results. This method can also simulate the performance of gyroscope in the presence of asymmetrical imperfections, which is caused during the fabrication process. Simulated results also show that the doubly decoupled property helps suppress the asymmetrical imperfections.

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