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Grating imaging scanning lithography
ISSN号:1671-7694
期刊名称:Chinese Optics Letters
时间:2013.8.8
页码:0805011-0805013
相关项目:深刻蚀光栅的归一化设计方法
作者:
Yu, Bin|Zhou, Changhe|Cao, Hongchao|Sun, Wenting|
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期刊信息
《中国光学快报:英文版》
中国科技核心期刊
主管单位:中国科学院
主办单位:中国光学学会 中国科学院上海光学精密机械研究所
主编:徐至展
地址:上海市800-211信箱光学期刊联合编辑部
邮编:201800
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电话:021-69918198
国际标准刊号:ISSN:1671-7694
国内统一刊号:ISSN:31-1890/O4
邮发代号:4-644
获奖情况:
国内外数据库收录:
美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国科学引文索引(扩展库),中国中国科技核心期刊
被引量:403