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两步法生长氮化铝中缓冲层和外延层工艺研究
  • 期刊名称:中国科学(E辑:技术科学)
  • 时间:0
  • 页码:1080-1084
  • 语言:中文
  • 相关项目:获得高质量低位错密度GaN衬底的生长新思路及相关关键问题研究
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