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基于硅微加工工艺的微热板的传热
  • 期刊名称：半导体学报，26(1)：192-196，2005.1
  • 时间：0
  • 相关项目：适用于SOC的声热力微传感器系统基础研究
作者： 余隽*，唐祯安，陈正豪等
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适用于SOC的声热力微传感器系统基础研究
期刊论文 75 会议论文 11
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