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基于虚拟力觉反馈的3维SEM主从遥纳操作
ISSN号:1662-5250
期刊名称:Journal of Nano Research
时间:2012.12.13
页码:109-116
相关项目:SEM下纳米构件操作的接触机理及操作方法研究
作者:
李东洁|荣伟彬|孙立宁|
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