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Numerical investigation of the parameter dependences of nanolithography by using micro-structured me
  • ISSN号:1464-4258
  • 期刊名称:Journal of Optics A-Pure and Applied Optics
  • 时间:0
  • 页码:506-510
  • 语言:英文
  • 相关项目:光子晶体器件的定向设计研究
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