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nc-TiC/a-C纳米复合多层薄膜的制备及其摩擦学性能的研究
  • ISSN号：1004-0595
  • 期刊名称：《摩擦学学报》
  • 时间：0
  • 分类：TB383.2[一般工业技术—材料科学与工程]
  • 作者机构：[1]河南大学特种功能材料重点实验室, [2]开封市特种设备检测检验所
  • 相关基金：国家重点基础研究发展规划项目“973”计划(2013CB632303);中国教育部长江学者和创新团队发展计划(PCS IRT1126);国家自然科学基金(51275154)资助~~
作者： 彭燚[1], 张玉娟[1], 翟玉浩[1], 杨坤鹏[1], 张晟卯[1], 张平余[1], 王超峰[2]
关键词： nc-Ti, C/a-C纳米复合多层薄膜, 亚层厚度, 亚层弹性模量匹配, 摩擦磨损
中文摘要：

采用磁过滤阴极弧等离子体沉积技术,在单晶硅片上制备了不同亚层厚度和亚层弹性模量匹配的nc-Ti C/a-C纳米复合多层薄膜,采用X射线粉末衍射仪、扫描电子显微镜和透射电子显微镜对其微观结构进行表征,利用激光扫描仪对其内部应力进行测试,采用微摩擦磨损试验机表征薄膜的摩擦磨损性能,以考察多层结构设计对于薄膜机械性能的影响.结果表明:多层薄膜相对于单层薄膜可以有效降低膜层内应力,同时薄膜的减摩抗磨性能也得到了提高.亚层厚度为40 nm和相邻亚层弹性模量差距较小的nc-Ti C/a-C纳米复合多层薄膜的抗磨性能最佳.

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期刊信息
  • 《摩擦学学报》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国科学院兰州化学物理研究所
  • 主编：薛群基
  • 地址：兰州市天水中路18号
  • 邮编：730000
  • 邮箱：tribology@lzb.ac.cn
  • 电话：0931-4968238
  • 国际标准刊号：ISSN：1004-0595
  • 国内统一刊号：ISSN：62-1095/O4
  • 邮发代号:54-42
  • 获奖情况:
  • 中国科学院优秀期刊三等奖,甘肃省达标期刊优秀奖,1999年、2000年连续2年获工程类学术影响因子第一名
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:11879