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SBA-15薄膜修饰QCM湿度传感器的三维有限元建模与仿真
  • 时间：0
  • 分类：TP212[自动化与计算机技术—控制科学与工程;自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
  • 作者机构：[1]南阳理工学院,河南省南阳市473004, [2]上海交通大学,上海市210000, [3]上海大学,上海市200444
  • 相关基金：2017年度河南省科技攻关项目“基于SBA-15的石英晶体谐振型湿度传感器优化设计与测试分析”（项目编号172102210418）、2016年度河南省高等学校重点科研项目“声表面波传感器的无源温度补偿及多物理场耦合模型研究”（项目编号16A510021）的经费支持.
作者： 张燕[1,2], 王生钊[1], 祝烨[3], 张杰[3], 刘忠超[1]
关键词： SBA-15, 有序介孔硅, 湿敏薄膜, QCM湿度传感器, 三维有限元
中文摘要：

本文对基于SBA-15的QCM湿度传感器进行了三维有限元精确建模与数值仿真,分析了SBA-15湿敏薄膜材料对传感器的振动模态、中心频率、电学阻抗及Q值等性能参数的影响,为纳米湿敏薄膜的成膜工艺及新型QCM湿度传感器的优化设计与制造提供了重要的理论参考依据。

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