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利用倾斜角度蒸发法制备Al/Al_2O_3/Al超导隧道结
  • ISSN号：1000-3258
  • 期刊名称：《低温物理学报》
  • 时间：0
  • 分类：O511[理学—低温物理;理学—物理]
  • 作者机构：[1]南京大学电子科学与工程系超导电子学研究所,南京210093
  • 相关基金：国家自然科学基金（批准号：10874074 60571007）; 教育部博士点基金（批准号：200802840031）资助的课题
作者： 陆殷华[1], 许伟伟[1], 沈丹丹[1], 孙国柱[1], 梁敏[1], 曹春海[1], 吴培亨[1]
关键词： Al/Al_2O_3/Al隧道结, 双层光刻胶, 悬空掩模结构, Al/Al_2O_3/Al junctions, bi-layer resist system, suspended shadow mask
中文摘要：

利用电子束曝光法对双层光刻胶进行曝光来制备悬空掩模结构,在此基础上利用电子束蒸发系统采用倾斜角度蒸发法制备铝超导薄膜,采用热氧化法在底层铝膜表面形成氧化铝作为势垒层,制备出铝SIS超导隧道结,并在360mK的情况下对铝结进行了Ⅰ～Ⅴ特性的初步测量.铝隧道结的成功制备为下一步构建超导量子比特器件,研究其量子特性奠定了良好的基础.

英文摘要：

Our research task is to fabricate the Al/Al_2O_3/Al tunnel junction using the method of the combination of angled evaporation based on a suspended shadw mask.The I~V characteristics of the Al/Al_2O_3/Al tunnel junction were measured at the temperature of 20mK.Al junction is successfully fabricated,which makes it promising for research in quantum qubits.

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期刊信息
  • 《低温物理学报》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国科学技术大学
  • 主编：赵忠贤
  • 地址：安徽省合肥市金寨路96号
  • 邮编：230026
  • 邮箱：LiBiyou@ustc.edu.cn
  • 电话：0551-3601359
  • 国际标准刊号：ISSN：1000-3258
  • 国内统一刊号：ISSN：34-1053/O4
  • 邮发代号:26-136
  • 获奖情况:
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:1577