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X射线光刻和剥离技术制作声表面波叉指换能器
  • ISSN号：1003-8213
  • 期刊名称：《微细加工技术》
  • 时间：0
  • 分类：TN712[电子电信—电路与系统]
  • 作者机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室, 安徽大学电子科学与技术学院
  • 相关基金：国家973项目资助(2009CB939703);联合国资助项目(UNDP0053962);国家自然科学基金资助项目(60506005;60676001;60706023)
作者： 李晶晶, 赵以贵, 贾锐, 李冬梅, 牛洁斌, 柯导明, 陈军宁
关键词： 声表面波器件, 叉指换能器, X射线光刻, 电子束光刻, 剥离
中文摘要：

提供了采用电子束光刻、X射线光刻和金属剥离技术制作亚微米尺寸的声表面波叉指换能器的方法。首先利用电子束光刻和微电镀技术制作X射线光刻的掩模,然后利用X射线光刻和剥离技术高效地制作大面积、纳米尺电、电极陡直均匀的叉指换能器。制备出的叉指电极特征尺寸为600 nm,面积为4 mm×6 mm,断指率小于3‰,可应用于高频声表面波器件中。研究结果表明,X射线光刻结合剥离技术是一种制备高频SAW器件的优良方法。

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期刊信息
  • 《微细加工技术》
  • 主管单位:信息产业部
  • 主办单位:中国电子科技集团公司第48研究所
  • 主编：伍三忠
  • 地址：长沙市第96号信箱301分箱（长沙黑石铺）
  • 邮编：410111
  • 邮箱：
  • 电话：0731-2891478
  • 国际标准刊号：ISSN：1003-8213
  • 国内统一刊号：ISSN：43-1140/TN
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 中文核心期刊,国家一级检索刊物用刊
  • 国内外数据库收录:
  • 荷兰文摘与引文数据库
  • 被引量:1695