中文摘要：

利用纳米划痕仪研究了Ti合金表面类金刚石薄膜在划擦过程中的弹塑性变形和理解纹形成微观机制，结果表明：试样在划擦过程经历了薄膜变形、薄膜与基体共同变形和薄膜剥离3个阶段，对应的P－D曲线分别在划擦前后无变化，出现分离和急剧变化，在第三 塑性变形量超过弹性变形量，在薄膜内部产生裂纹，薄膜与基体变莆恢复不同步，薄膜发生剥落，因此提高薄膜划擦抗力的有效途径是增强膜基的结合强度和提高薄膜的断裂韧性。