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准分子激光电化学刻蚀金属的研究
  • ISSN号：1002-1582
  • 期刊名称：《光学技术》
  • 时间：0
  • 分类：TG665[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
  • 作者机构：[1]桂林电子科技大学机电工程学院, [2]华中科技大学机械科学与工程学院
  • 相关基金：国家重点基础研究发展计划资助项目(2003CB716207);国家自然科学基金资助项目(50575078,50405033)
作者： 龙芋宏[1], 史铁林[2], 熊良才[2]
关键词： 激光技术, 激光电化学, 刻蚀, 金属
中文摘要：

为了探寻准分子激光电化学刻蚀工艺的特性,采用功率密度大的248nm准分子激光聚焦照射浸在溶液中的金属表面,实现了一种激光电化学刻蚀复合工艺。在实验的基础上,通过对激光电化学刻蚀金属和硅的基本形貌进行比较和分析,研究了该工艺的工艺特性。研究结果表明,该复合工艺为激光直接刻蚀和激光热诱导电化学刻蚀。其中激光热诱导电化学刻蚀是通过激光的光热效应和由激光诱导的冲击波来实现对腐蚀液和材料的冲击、微搅拌等作用的。

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期刊信息
  • 《光学技术》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:国防科工委
  • 主办单位:中国兵工学会 北京理工大学 中国北方光电工业总公司
  • 主编：夏阳
  • 地址：北京海淀中关村南大街5号
  • 邮编：100081
  • 邮箱：gxjs@bit.edu.cn
  • 电话：010-68913628 68948720
  • 国际标准刊号：ISSN：1002-1582
  • 国内统一刊号：ISSN：11-1879/O4
  • 邮发代号:2-830
  • 获奖情况:
  • 中国兵器工业总公司优秀期刊一等奖,首届国防科工委优秀期刊二等奖,美国工程索引（EI）对本刊论文的收录率为87%
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）
  • 被引量:12855