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Microstructure and Mechanical Properties of Nanocrystalline Tungsten Thin Films
  • ISSN号：1005-0302
  • 期刊名称：材料科学技术(英文版)
  • 时间：0
  • 页码：87-92
  • 语言：中文
  • 分类：TB383[一般工业技术—材料科学与工程] TQ153.2[化学工程—电化学工业]
  • 作者机构：State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials, School of Materials Science and Engineering, Xi'an Jiaotong University, Xi'an 710049, China
  • 相关基金：Acknowledgements This work was supported by the National Basic Research Program of China （No. 2004CB619302） and the National Natural Science Foundation of China （No. 50871083, 50771078 and 50771069）.
  • 相关项目：超薄超细晶体材料的尺寸效应及其能量学研究
作者： Sun, H. L.|Song, Z. X.|Ma, F.|Guo, D. G.|Xu, K. W.|
关键词： 微观结构, 钨薄膜, 纳米晶, 力学性能, 场发射扫描电镜, 透射电子显微镜, 硅(100), X射线衍射仪, Tungsten film, Microstructure, Nanoindentation, Hardness, Modulus
中文摘要：

Corresponding author. Prof.; Tel.： ＋86 29 88403018; Fax： ＋86 29 83237910; E-mail address： kwxu@mail.xjtu.edu.cn （K.W. Xu）.

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期刊信息
  • 《材料科学技术学报：英文版》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科协
  • 主办单位:中国金属学会
  • 主编：
  • 地址：中国沈阳文化路72号
  • 邮编：110016
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  • 国际标准刊号：ISSN：1005-0302
  • 国内统一刊号：ISSN：21-1315/TG
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