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Investigation of Titanium coating on Si3N4 by using Pulsed High Energy Density Plasma gun
  • 期刊名称:Thin Solid Films
  • 时间:0
  • 作者或编辑:3448
  • 第一作者所属机构:中国科学院物理研究所
  • 页码:1999,349,162
  • 语言:英文
  • 相关项目:HEDP法材料表面金属化及界面研究
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