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Growth of nano- and microcrystalline silicon thin films at low temperature by pulsed electron deposi
  • ISSN号:0022-0248
  • 期刊名称:Journal of Crystal Growth
  • 时间:2013.7.15
  • 页码:67-72
  • 相关项目:大温区内恒电阻率单一固体探索
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