中文摘要：

利用电子束蒸镀技术在石英玻璃和单晶Si〈100〉上制备了纳米TiO2 薄膜,研究了衬底温度和退火温度对其结构、相组成和亲水性能的影响.结果表明,衬底温度为40-240℃时,石英玻璃上制备的薄膜为无定型TiO2,单晶Si〈100〉上制备的薄膜为弱结晶性的金红石TiO2,两类薄膜的亲水性均很差.退火温度显著影响薄膜的相组成及亲水性能.石英玻璃上不同衬底温度制备的TiO2 薄膜经550,650 ℃退火后均转变为锐钛矿TiO2,具有很好的亲水性能. 单晶Si〈100〉上不同衬底温度制备的TiO2 薄膜经550-950℃退火后,均由金红石和锐钛矿TiO2 混晶组成,且随退火温度升高,薄膜中锐钛矿TiO2 含量逐渐增加;随退火温度升高,衬底温度为40℃时制备的TiO2薄膜的亲水性能逐渐降低,而衬底温度为240 ℃时制备的TiO2 薄膜的亲水性能逐渐增强.