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基于原子模型的各向异性腐蚀模拟方法对比分析
  • ISSN号：1004-1699
  • 期刊名称：传感技术学报
  • 时间：0
  • 页码：1758-1763
  • 语言：中文
  • 分类：O414.2[理学—理论物理;理学—物理]
  • 作者机构：[1]东南大学机械工程学院先进制造技术实验室,南京,211189 东南大学机械工程学院先进制造技术实验室,南京,211189 东南大学机械工程学院先进制造技术实验室,南京,211189
  • 相关基金：国家自然科学基金资助(50675033)
  • 相关项目：基于光诱导介电泳的微纳米生物粒子操纵平台原理和实验研究
作者： 幸研|朱鹏|易红|
关键词： 蒙特卡罗, 元胞自动机, 单晶硅, 各向异性, 湿法腐蚀
中文摘要：

分析了蒙特卡罗方法和元胞自动机法在微加工中各项异性腐蚀的特点和过程,开发了仿真系统,分别使用两种方法模拟使用掩模下的硅微加工过程.通过使用掩模获得的两个微结构的仿真结果,对元胞自动机和蒙特卡罗法的基本结果和特性进行了讨论和分析.两种方法在一定程度上都能正确地反映了实验的结果,元胞自动机在系统结构初步设计中能发挥更大的作用,而蒙特卡罗法能获得细致的表面结构,粗糙度等数据,在小尺度分析上具有更强的模拟能力.

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期刊信息
  • 《传感技术学报》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:国家教育部
  • 主办单位:东南大学 中国微米纳米技术学会
  • 主编：黄庆安
  • 地址：南京市四牌楼2号
  • 邮编：210096
  • 邮箱：dzcg-bjb@163.com
  • 电话：025-83794925
  • 国际标准刊号：ISSN：1004-1699
  • 国内统一刊号：ISSN：32-1322/TN
  • 邮发代号:28-366
  • 获奖情况:
  • 2011-2012年获中国科技论文在线优秀期刊一等奖,2012年获第四届中国高校优秀科技期刊奖,2011年获中国精品科技期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）
  • 被引量:18030