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Numerical modeling of carrier gas flow in atomic layer deposition vacuum reactor: A comparative stud
  • ISSN号：1553-1813
  • 期刊名称：Journal of Vacuum Science and Technology A
  • 时间：2014.1
  • 页码：-
  • 相关项目：多尺度多场耦合的纳米TiO2薄膜制备精确能量模型研究
作者： Pan, Dongqing|Li, Tao|Jen, Tien Chien|Yuan, Chris|
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