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Contributions of N+, N-2(+), NO+ Ion Implantation to p-Type Conversion of ZnO:Al Films
  • ISSN号:0093-3813
  • 期刊名称:IEEE Transactions on Plasma Science
  • 时间:0
  • 页码:711-716
  • 相关项目:等离子体浸没离子注入制备P型ZnO薄膜材料的研究
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