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The Effect of AlN Nucleation Temperature on the Growth of AlN Films via Metalorganic Chemical Vapor
  • ISSN号:0361-5235
  • 期刊名称:Journal of Electronic Materials
  • 时间:2012
  • 页码:466-470
  • 相关项目:Si衬底上InGaP/GaAs/Ge和InGaP/GaAs/SiSnGe/Ge多结太阳能电池材料生长与器件制备研究
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