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优化沉积参数对微晶硅薄膜太阳电池性能的影响
  • ISSN号:1000-985X
  • 期刊名称:人工晶体学报
  • 时间:0
  • 页码:170-172
  • 语言:中文
  • 分类:TK51[动力工程及工程热物理—热能工程]
  • 作者机构:[1]南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津300071, [2]南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,天津300071, [3]光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学,天津大学),天津300071
  • 相关基金:国家“973”重大基础研究发展规划项目(G2000028202;G2000028203);天津市科技攻关项目(No.043186511)和国家自然科学基金项目(No.60506003)
  • 相关项目:采用二维自适应流体模型对高速率微晶硅生长机理的研究
中文摘要:

本文主要采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术制备了不同硅烷浓度、辉光功率和反应气体流量的单结微晶硅薄膜太阳电池。电池的I-V测试结果表明:电池的开路电压随功率的降低、硅烷浓度和气体流量的增加而增加,而对应的短路电流密度在一定的硅烷浓度条件下达到最大,填充因子也在逐渐的增加。文中对具体内容进行了详细的分析。

英文摘要:

Series of microcrystalline silicon solar ceils were fabricated by very high frequency plasma enhanced chemical vapor deposition at different silane concentrations, discharge powers and total flow rate. The results of I-V measurements of solar ceils indicate that the open circuit voltage ( Voc ) and the fill factor (FF) increase with the decrease of discharge power, and with the increase of silane concentration and total flow rate. However, the short circuit current density (Jsc) reached a maximum at a certain silane concentration. The details can be seen in the paper.

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期刊信息
  • 《人工晶体学报》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国建材工业协会
  • 主办单位:中国硅酸盐学会 晶体生长与材料专业委员会 中材人工晶体研究院
  • 主编:余明清
  • 地址:北京市733信箱
  • 邮编:100018
  • 邮箱:
  • 电话:010-65492963 65492968 65493320
  • 国际标准刊号:ISSN:1000-985X
  • 国内统一刊号:ISSN:11-2637/O7
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 1997年获国家科技优秀期刊,获部级优秀科技期刊奖,中国期刊方阵“双效”期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:9943