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等离子体辅助电子枪蒸发制备AlN
  • 期刊名称：华南师范大学学报(自然科学版), 2006, 2: 61-65
  • 时间：0
  • 相关项目：蓝光功能薄膜材料的低温等离子体制备和研究
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