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Slide film damping in microelectromechanical devices
  • 期刊名称:Proceedings of the Institution of Mechanical Engin
  • 时间:2013.8.1
  • 页码:162-170
  • 相关项目:石墨烯纳机电谐振器制备方法及其非线性动态特性的基础研究
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