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高质量二维光子晶体结构刻蚀掩膜
  • 期刊名称：半导体学报， 27（2006）1640-1644
  • 时间：0
  • 相关项目：二维光子晶体及器件的微加工与特性研究
作者： 杜伟，许兴胜，韩伟华，王春霞，
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