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MEMS 磁场传感器的研究进展
  • 期刊名称：电子器件 29(4):1384-1388， 2006
  • 时间：0
  • 相关项目：多功能单片集成传感微系统设计方法及相关技术基础研究
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多功能单片集成传感微系统设计方法及相关技术基础研究
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