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微波ECR等离子体化学气相沉积GaN
  • 期刊名称：（编号200507-122）中国科技论文在线（http://www.paper.edu.cn ）
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  • 相关项目：蓝光功能薄膜材料的低温等离子体制备和研究
作者： 陈俊芳，符斯列 等。
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