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Improvement of Film-to-Substrate Adhesion for Diamond and Related Films by Plasma-Based Technologies
  • ISSN号:0093-3813
  • 期刊名称:IEEE Transactions on Plasma Science
  • 时间:2011.11.11
  • 页码:3072-3079
  • 相关项目:纳米多层类金刚石/硫系固体润滑薄膜的制备及其摩擦学性能与机理研究
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