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AlGaN/GaN异质结气体传感器对低体积分数CO的响应研究
  • ISSN号：1003-353X
  • 期刊名称：《半导体技术》
  • 时间：0
  • 分类：TN304[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构：[1]中国科学院半导体研究所材料中心, [2]中国科学院半导体研究所材料科学重点实验室, [3]中国科学院半导体研究所西安交通大学信息功能材料与器件联合实验室
  • 相关基金：国家自然科学基金(60576046,60606002,613270805);国家“973”重点基础研究项目(2006CB604905);中国科学院知识创新工程(YYYJ-0701-02)
作者： 冯春[1,2,3], 王晓亮[1,2,3], 杨翠柏[1,2,3], 肖红领[1,2,3], 王翠梅[1,2,3], 侯奇峰[1,2,3], 马泽宇[1,2,3], 王军喜[1,2,3], 李晋闽[1,2,3], 王占国[2], 侯洵[3]
关键词： algan-gan, 肖特基, 气体传感器, 氧化碳
中文摘要：

研究了基于AlGaN/GaN异质结材料的肖特基二极管气体传感器对于体积分数为2×10-4～10-3的CO气体的响应状况。在2V正向偏压下,器件对于低至体积分数2×10-4的CO仍表现出了明显的响应(电流增大0.7mA),随着CO体积分数的升高,器件的电流变化愈加明显,但在反向偏压下,通入CO气体对器件的电流大小无明显影响。对器件在不同体积分数CO下的灵敏度与外加偏压的关系也进行了研究,在正向偏压下,器件的灵敏度随着CO体积分数的升高而增大。当CO气体撤消时,器件表现出了迅速的恢复性能,2V的恒定电压下,器件的恢复速度约为3mA/min。

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期刊信息
  • 《半导体技术》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国电子科技集团公司
  • 主办单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
  • 主编：赵小玲
  • 地址：石家庄179信箱46分箱
  • 邮编：050051
  • 邮箱：informax@heinfo.net
  • 电话：0311-87091339
  • 国际标准刊号：ISSN：1003-353X
  • 国内统一刊号：ISSN：13-1109/TN
  • 邮发代号:18-65
  • 获奖情况:
  • 中文核心期刊,中国科技论文统计用刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘（网络版）,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:6070